大学院理工学研究科 土方泰斗准教授のインタビュー記事が電子デバイス産業新聞にて掲載されました
大学院理工学研究科の土方泰斗准教授のインタビュー記事が、5月14日付け電子デバイス産業新聞の2面に掲載されました。
土方准教授は、埼玉次世代自動車環境関連技術イノベーション創出センター（NeCST：事務局は埼玉大学に設置）に設置されている「次世代自動車関連半導体デバイス研究会」にて主査を担当しており、電気自動車(EV)やハイブリッド車(HV)における基幹制御部であるインバーターにSiCなどのパワー半導体を用いて、電力制御系の低損失性や耐熱性を大きく向上させ、自動車の超省電力走行の実現を目指すべく、研究を進めています。
今回、車載用SiCパワーデバイスの特色や欠陥が発生しやすい熱酸化膜の成膜プロセスにおける酸化メカニズム解明の重要性についてインタビューで語っています。
